1. ការរចនាខ្នាតតូច និងអាចផ្ដាច់បាន ងាយស្រួលយកតាមខ្លួន និងបង្រៀន

2. ក្បាលចាប់ឡាស៊ែរ និងដំណាក់កាលស្កែនគំរូត្រូវបានរួមបញ្ចូល រចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាពខ្លាំង ហើយការប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកគឺខ្លាំង

3. ឧបករណ៍កំណត់ទីតាំងការស៊ើបអង្កេតច្បាស់លាស់ ការលៃតម្រូវការតម្រឹមកន្លែងឡាស៊ែរគឺងាយស្រួលណាស់។

4. អ័ក្សតែមួយជំរុញសំណាកគំរូឱ្យចូលទៅជិតការស៊ើបអង្កេតបញ្ឈរដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដូច្នេះចុងម្ជុលត្រូវបានស្កេនកាត់កែងទៅនឹងគំរូ

5. វិធីសាស្រ្តផ្តល់ចំណីដោយម្ជុលដ៏ឆ្លាតវៃនៃការរកឃើញដោយស្វ័យប្រវត្តិនូវសេរ៉ាមិច piezoelectric សម្ពាធដែលគ្រប់គ្រងដោយម៉ូទ័រ ការពារការស៊ើបអង្កេត និងសំណាកគំរូ។

6. ការកំណត់ទីតាំងអុបទិកដោយស្វ័យប្រវត្តិ មិនចាំបាច់ផ្តោតការសង្កេត និងការកំណត់ទីតាំងនៃតំបន់ស្កេនគំរូស៊ើបអង្កេត

7. វិធីសាស្ត្រការពារការជ្រាបទឹកពីការព្យួរនិទាឃរដូវ សាមញ្ញ និងជាក់ស្តែង ប្រសិទ្ធភាពការពារការឆក់ល្អ។

8. ម៉ាស៊ីនស្កេនរួមបញ្ចូលគ្នា កម្មវិធីកែសម្រួលអ្នកប្រើប្រាស់ការកែមិនត្រង់បន្ទាត់ ការកំណត់លក្ខណៈ nanometer និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងប្រសើរជាង 98%

លក្ខណៈ​ពិសេស៖