1. ការរចនារួមបញ្ចូលគ្នានៃមីក្រូទស្សន៍លោហធាតុអុបទិក និងមីក្រូទស្សន៍កម្លាំងអាតូម មុខងារដ៏មានឥទ្ធិពល

2. វាមានមុខងារថតរូបភាពមីក្រូទស្សន៍អុបទិក និងកម្លាំងអាតូមិក ដែលមុខងារទាំងពីរនេះអាចដំណើរការក្នុងពេលតែមួយដោយមិនប៉ះពាល់ដល់គ្នាទៅវិញទៅមក។

3. ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ វាមានមុខងារនៃការវាស់ស្ទង់អុបទិកពីរវិមាត្រ និងការវាស់ស្ទង់កម្លាំងអាតូមិកមីក្រូទស្សន៍បីវិមាត្រ។

4. ក្បាលចាប់ឡាស៊ែរ និងដំណាក់កាលស្កែនគំរូត្រូវបានដាក់បញ្ចូល រចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាពខ្លាំង ហើយការប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកគឺខ្លាំង

5. ឧបករណ៍កំណត់ទីតាំងការស៊ើបអង្កេតច្បាស់លាស់ ការលៃតម្រូវការតម្រឹមកន្លែងឡាស៊ែរគឺងាយស្រួលណាស់។

6. គំរូដ្រាយអ័ក្សតែមួយចូលទៅជិតការស៊ើបអង្កេតបញ្ឈរដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដូច្នេះចុងម្ជុលត្រូវបានស្កេនកាត់កែងទៅនឹងគំរូ

7. វិធីសាស្រ្តផ្តល់ចំណីដោយម្ជុលដ៏ឆ្លាតវៃនៃការរកឃើញដោយស្វ័យប្រវត្តិនូវសេរ៉ាមិច piezoelectric សម្ពាធដែលគ្រប់គ្រងដោយម៉ូទ័រ ការពារការស៊ើបអង្កេត និងសំណាកគំរូ។

8. ប្រព័ន្ធកំណត់ទីតាំងអុបទិកកម្រិតពង្រីកខ្ពស់ ដើម្បីសម្រេចបាននូវទីតាំងច្បាស់លាស់នៃការស៊ើបអង្កេត និងតំបន់ស្កេនគំរូ

9. ម៉ាស៊ីនស្កេនរួមបញ្ចូលគ្នា កម្មវិធីកែសម្រួលអ្នកប្រើប្រាស់ការកែមិនត្រង់បន្ទាត់ ការកំណត់លក្ខណៈ nanometer និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងប្រសើរជាង 98%

លក្ខណៈ​ពិសេស៖