1.The laser detection head and the sample scanning stage is integrated, រចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាពខ្លាំងណាស់, និងការប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកគឺខ្លាំង
2.Precision probe positioning device, laser spot alignment is easier
3.Single-axis drive sample ចូលទៅជិតការស៊ើបអង្កេតដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដើម្បីឱ្យចុងម្ជុលកាត់កែងទៅនឹងការស្កេនគំរូ
4. វិធីសាស្ត្រផ្តល់ចំណីដោយម្ជុលដ៏ឆ្លាតវៃនៃការរកឃើញដោយស្វ័យប្រវត្តិនូវសេរ៉ាមិច piezoelectric សម្ពាធដែលគ្រប់គ្រងដោយម៉ូទ័រ ការពារការស៊ើបអង្កេត និងសំណាកគំរូ។
5. ការកំណត់ទីតាំងអុបទិកដោយស្វ័យប្រវត្តិ មិនចាំបាច់ផ្តោតការសង្កេត និងការកំណត់ទីតាំងនៃតំបន់ស្កេនគំរូស៊ើបអង្កេត
6.Spring suspension shockproof method សាមញ្ញ និងជាក់ស្តែង ប្រសិទ្ធិភាព shockproof ល្អ។
7.Metal shielded soundproof box, built-in-precision temperature and humidity sensor, ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាពិតនៃបរិយាកាសការងារ
8.Integrated scanner កម្មវិធីនិពន្ធអ្នកប្រើប្រាស់កែមិនត្រង់បន្ទាត់ ការកំណត់លក្ខណៈ nanometer និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងប្រសើរជាង 98%
របៀបប្រតិបត្តិការ | របៀបប៉ះ, របៀបប៉ះ |
របៀបស្រេចចិត្ត | កម្លាំងកកិត/កម្លាំងក្រោយ, អំព្លីទីត/ដំណាក់កាល, កម្លាំងម៉ាញេទិក/អេឡិចត្រុស្ទិក |
ខ្សែកោងវិសាលគមកម្លាំង | ខ្សែកោងកម្លាំង FZ, ខ្សែកោង RMS-Z |
ជួរស្កេន XY | 20 * 20um, ស្រេចចិត្ត 50 * 50um, 100 * 100um |
ជួរស្កេន Z | 2.5um, ស្រេចចិត្ត 5um, 10um |
ស្កេនគុណភាពបង្ហាញ | ផ្ដេក 0.2nm, បញ្ឈរ 0.05nm |
ទំហំធម្មតា | Φ≤90mm, H≤20mm |
ដំណើរកំសាន្តដំណាក់កាលគំរូ | 15 * 15 ម។ |
ការសង្កេតអុបទិក | កែវថតគោលបំណងអុបទិក 4X / គុណភាពបង្ហាញ 2.5um |
ល្បឿនស្កេន | 0.6Hz-30Hz |
មុំស្កែន | 0-360° |
បរិយាកាសប្រតិបត្តិការ | ប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិការ Windows XP/7/8/10 |
ចំណុចប្រទាក់ទំនាក់ទំនង | USB2.0/3.0 |
ការរចនាស្រូបទាញ | ប្រអប់ការពារនិទាឃរដូវ/ដែកការពារ |